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穿透式电子显微镜(TEM)

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· 项目描述

穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。

· 检测内容

（1）显微结构分析(晶格影像)； （2）结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析； （3）元素成分分析； （4）电子绕射图分析； （5）杂质及污染源分析。

· 应用领域

半导体、晶圆

· 检测设备