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剖面/晶背研磨

离子束剖面研磨(CP)

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· 项目描述

利用砂纸或钻石砂纸,搭配研磨头作局部研磨(Polishing),加上后续的抛光,可处理出清晰的样品表面。剖面、断面研磨与晶背研磨(Backside Polishing),都是为了可以衔接后续的分析检测。

· 检测内容

(1)研磨(Polishing)基本流程 (2)切割:利用切割机裁将样品裁切成适当尺寸; (3)冷埋:利用混合胶填满样品隙缝,增强样品之结构强度,避免受研磨应力而造样品毁损; (4)研磨:样品以不同粗细之砂纸 (或钻石砂纸),进行研磨; (5)抛光:于绒布转盘上加入适当的抛光液,进行抛光以消除研磨所残留的细微刮痕。

· 应用领域

芯片产品,如覆晶封装( Flip Chip)、铝/铜制程结构、C-MOS Image Sensor; PCB/PCBA等各种板材或成品;LED成品

· 检测设备