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砷化镓铟微光显微镜

激光束电阻异常侦测

Thermal EMMI(InSb)

· 项目描述

砷化镓铟微光显微镜(InGaAs)与微光显微镜(EMMI)其侦测原理相同,都是用来侦测故障点定位,寻找亮点、热点(Hot Spot)的工具。

· 检测内容

(1)半导体失效分析 (2)通讯领域中光斑分析 (3)光学相控阵

· 应用领域

先进制程组件、IC芯片

· 检测设备