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· 项目描述

利用SMU(Source measurement unit)供应电压或电流,验证与量测半导体组件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲线等)。如电容-电压特性曲线、电压-电流(IV)、电阻、电容、电感值量测或信号波形等, 藉此了解组件的故障行为,以利后续的分析动作。

· 检测内容

(1)CMOS 晶体管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容和 QSCV (2)双极晶体管 Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿和电容等 (3)分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等 (4)内存 Vth、电容、耐久性测试 (5)功率器件 脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿 (6)纳米器件 电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc (7)可靠性测试 NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载流子注入、斜坡电流(J-Ramp)、TDDB 等

· 应用领域

晶体管、分立器件、功率器件、纳米器件

· 检测设备