· 检测内容
(1)CMOS 晶体管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、击穿、电容和 QSCV (2)双极晶体管 Ic-Vc、二极管、Gummel 曲线图、击穿和电容等 (3)分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二极管等 (4)内存 Vth、电容、耐久性测试 (5)功率器件 脉冲 Id-Vg、脉冲 Id-Vd、击穿 (6)纳米器件 电阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc (7)可靠性测试 NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载流子注入、斜坡电流(J-Ramp)、TDDB 等